論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
lithographyに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
lithographyに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- nanoimprint lithography
- ナノインプリント技術
- lithography
- リソグラフィー
- photolithography
- 写真平版
- EUV lithography
- EB lithography
- NIL
- electron beam lithography
- 電子ビームリソグラフィ
- MEMS
- photonic crystals
- フォトニック結晶
- overlay
- EUV mask
- chemically amplified resist
- 化学増幅レジスト
- biomass
- バイオマス
- particle
- 粒子
- detectivity
- 検出能
- biosensor
- バイオセンサー
- carbon nanotube
- カーボンナノチューブ
- block copolymers
- ブロック共重合体
- throughput
- 処理量
- mold
- カビ
- defect reduction
- 欠陥低減
- cellulose
- セルロース
- J-FIL
- polymer
- ポリマー
- susceptibility
- 感受性
- elemental semiconductors
- silicon (Si)
- ケイ素
- plasmon
- プラズモン
- gas permeability
- 通気性
- self-assembly
- 自己組織化
- SERS
- defects
- 欠損
- DSA
- UV curable resin
- 光硬化型樹脂
- silver
- 銀
- alignment
- 整列化
- integrated optics
- 光集積回路
- multiplexing
- 多重
- cosmic microwave background
- 宇宙マイクロ波背景放射
- directed self-assembly
- machine learning
- 機械学習
- atomic force microscopy (AFM)
- 原子間力顕微鏡
- LER
- strain
- 系統
- structural health monitoring
- 構造モニタリング
- sensor
- センサー
- flexible substrate
- 可とう性基板
- etching
- エッチング
- diffraction grating
- 回折格子
- quantum mechanics
- 量子力学
- resistance
- 抵抗
- standards
- membrane
- 膜
- microfabrication
- 微細加工
- localized surface plasmon resonance
- metal nanoparticles
- 金属ナノ粒子
- chemical vapor deposition
- 化学蒸着
- magnesium oxide (MgO)
- 酸化マグネシウム
- hydrogel
- ハイドロゲル
- nanoparticles
- ナノ粒子
- gold
- 金
- surface enhanced Raman scattering
- 表面励起ラマン散乱
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- DNA
- デオキシリボ核酸
- CDU
- gas permeation
- 気体分離
- woody biomass
- 木質バイオマス
- CMOS process
- silicon photonics
- MOSFET
- MOS電界効果トランジスタ
- optical sensor
- 光センサー
- cavity
- 空洞
- surface plasmon resonance (SPR)
- 表面プラズモン共鳴
- EUV resist
- process control
- プロセス制御
- UV
- 紫外
- photochromism
- ホトクロミズム
- photochemistry
- 光化学
- clustering
- クラスタリング
- horseradish peroxidase
- 西洋ワサビペルオキシダーゼ
- extreme ultraviolet lithography
- photoresist
- 光レジスト
- surface roughness
- 表面粗さ
- damage
- 損傷
- shrinkage
- 縮ミ
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- X-ray absorption fine structure (XAFS)
- X線吸収微細構造
- Monte Carlo simulation
- モンテカルロシミュレーション
- molecular dynamics (MD)
- 分子動力学
- nanoimprint
- nanofabrication
- ナノ加工
- field emission
- 電界放射
- resist
- photomask
- フォトマスク
- simulation
- シミュレーション
- shear stress
- せん断応力
- polymethyl methacrylate
- ポリメチルメタクリレート
- swelling
- 膨化
- frequency
- LWR
- feature extraction
- 特徴抽出
- deep neural network (DNN)
- ディープニューラルネットワーク
- topography
- displacement
- surface energy
- 界面エネルギー
- template
- 鋳型
- small-angle X-ray scattering (SAXS)
- X線小角散乱
