論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
chemical vapor depositionに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
chemical vapor depositionに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- chemical vapor deposition
- 化学蒸着
- chemical vapor deposition processes
- plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
- プラズマCVD
- diamond
- ダイアモンド
- metalorganic chemical vapor deposition
- 金属有機化学蒸着法
- crystal structure
- 結晶構造
- graphene
- グラフェン
- semiconducting silicon compounds
- oxides
- 酸化物
- nanostructures
- ナノ構造
- growth models
- 生長モデル
- defects
- 欠損
- silicon carbide (SiC)
- 炭化ケイ素
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
- crystal morphology
- 結晶形態学
- semiconducting iii-v materials
- doping
- ドーピング
- nitrides
- 窒化物
- semiconducting gallium compounds
- characterization
- conducting materials
- 導電性材料
- germanium
- ゲルマニウム
- atomic force microscopy (AFM)
- 原子間力顕微鏡
- Raman spectroscopy
- ラマン分光法
- organic compounds
- 有機化合物
- nanomaterials
- ナノ物質
- diamond-like carbon
- ダイヤモンドライクカーボン
- gallium compounds
- carbon nanotube
- カーボンナノチューブ
- photoluminescence
- 光ルミネセンス
- surface morphology
- 表面形状
- epitaxial growth
- エピタキシャル成長
- hexagonal boron nitride
- 六方晶窒化ホウ素
- crystal growth
- 結晶成長
- AlN
- growth
- 増殖
- surface structure
- 表層構造
- silicon (Si)
- ケイ素
- absorption
- 吸収
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- 触媒
- Schottky diodes
- ショットキーダイオード
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- コーティング
- epitaxy
- エピタキシー
- semiconducting silicon
- field effect transistors (FET)
- 電界効果トランジスタ
- line defects
- 線欠陥
- polycrystalline deposition
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- 薄膜
- buffer layer
- 緩衝層
- solar cells
- 太陽電池
- etching
- エッチング
- silica
- シリカ
- spark plasma sintering
- 放電プラズマ焼結法
- morphology
- 形態学
- tin (Sn)
- スズ
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- nitridation
- 窒化物形成
- anisotropy
- 異方性
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- inorganic compounds
- 無機
- light emitting diodes (LED)
- 発光ダイオード
- atmospheric pressure plasma
- 大気圧プラズマ
- interface
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- segregation
- 分離
- supercapacitor
- スーパーキャパシタ
- nanowire
- ナノワイヤー
- intercalation
- 挿入
- photovoltaic cell
- 光起電力電池
- point defects
- 点欠陥
- iron
- 鉄
- nano carbon
- ナノカーボン
- solubility
- 溶解度
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- 歪みセンサ
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- 表面
- MoS2
- 二硫化モリブデン
- stent
- ステント
- biomaterials
- 生体材料
- magnesium alloys
- マグネシウム合金
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- 窒素
- tribology
- 摩擦学
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- メタマテリアル
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- photolithography
- 写真平版
- magnesium oxide (MgO)
- 酸化マグネシウム
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- 熱電対
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- 測温
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- プラズマ処理
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- substrate
- 基質
- ZnO
- 酸化亜鉛
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- ヒステリシス
- selective epitaxy
- 選択エピタクシー
- semiconducting germanium
- phosphorus
- リン
- X-ray topography
- X線トポグラフィー
- thermal conductivity
- 熱伝導度
- two-dimensional materials
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- スーパーオキシドジスムターゼ
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- 抗酸化剤
- osteogenesis
- 骨形成
- single crystal
- 単結晶
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- 誘導ラマン散乱
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- 物質移動
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- 再結晶
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- 硬度
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- 合金
- Langmuir-Blodgett film
- ラングミュアー・ブロジェット膜
- nanoparticles
- ナノ粒子
- heterostructure
- ヘテロ構造
- misorientation
- ミスオリエンテーション
- thermoelectric
- 熱電性
- cathode material
- 陰極材料
- solid electrolyte
- 固体電解質
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- 表面被覆
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- 炭素材料
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- structural
- 構造上
- transition metal dichalcogenides
- 遷移金属ダイカルコゲナイド
- transmission electron microscopy (TEM)
- 透過型電子顕微鏡
- dislocation
- 転位
- laser spectroscopy
- レーザー分光
- atom probe tomography
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- 安定同位体
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- 結晶化
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- 加熱処理
- room temperature
- 室温
- oxygen reduction reaction
- 酸素還元反応
- quantum chemical calculation
- 量子化学計算
- breakdown voltage
- 放電破壊電圧
- GaN
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- 酸化物半導体
- gallium oxide
- 酸化ガリウム
- boundary lubrication
- 境界潤滑
- DLC