論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
頻出キーワード
EB lithographyに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- EB lithography
- EUV lithography
- MEMS
- elemental semiconductors
- self-assembly
- 自己組織化
- nanoparticles
- ナノ粒子
- biosensor
- バイオセンサー
- silicon (Si)
- ケイ素
- gold
- 金
- surface enhanced Raman scattering
- 表面励起ラマン散乱
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- SERS
- DNA
- デオキシリボ核酸
- woody biomass
- 木質バイオマス
- susceptibility
- 感受性
- chemically amplified resist
- 化学増幅レジスト
- atomic force microscopy (AFM)
- 原子間力顕微鏡
- shrinkage
- 縮ミ
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- resist
- photomask
- フォトマスク
- simulation
- シミュレーション
- polymethyl methacrylate
- ポリメチルメタクリレート
- swelling
- 膨化
- biomass
- バイオマス
- cellulose
- セルロース
