論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
photolithographyに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
photolithographyに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- photolithography
- 写真平版
- carbon nanotube
- カーボンナノチューブ
- diffraction grating
- 回折格子
- membrane
- 膜
- microfabrication
- 微細加工
- elemental semiconductors
- silicon (Si)
- ケイ素
- polymer
- ポリマー
- chemical vapor deposition
- 化学蒸着
- magnesium oxide (MgO)
- 酸化マグネシウム
- hydrogel
- ハイドロゲル
- CMOS process
- silicon photonics
- photonic crystals
- フォトニック結晶
- photochromism
- ホトクロミズム
- photochemistry
- 光化学
- horseradish peroxidase
- 西洋ワサビペルオキシダーゼ
- photoresist
- 光レジスト
- atomic force microscopy (AFM)
- 原子間力顕微鏡
- surface roughness
- 表面粗さ
- electron beam lithography
- 電子ビームリソグラフィ
- damage
- 損傷
