論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
sputteringに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
sputteringに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- sputtering
- スパッタリング
- magnetron sputtering
- マグネトロンスパッタリング
- thin films
- 薄膜
- RF magnetron sputtering
- RF磁電管スパッタリング
- ZnO
- 酸化亜鉛
- vanadium
- バナジウム
- Ga-doped ZnO
- DC magnetron sputtering
- 直流マグネトロンスパッタ
- carrier transport
- 担体輸送
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
- transparent conductive oxide
- 透明導電性酸化物
- Al-doped ZnO
- alドープZnO
- perovskite solar cells
- nanoparticles
- ナノ粒子
- silver
- 銀
- buffer layer
- 緩衝層
- defects
- 欠損
- plasma
- 血漿
- internal stress
- 内部応力
- Schottky barrier
- ショットキー障壁
- doping
- ドーピング
- tungsten
- タングステン
- nanostructures
- ナノ構造
- AlN
- pH sensor
- pHセンサ
- alumina (Al2O3)
- アルミナ
- nitrogen
- 窒素
- crystallographic orientation
- 結晶方位
- titanium
- チタン
- transmission electron microscopy (TEM)
- 透過型電子顕微鏡
- amorphous
- 無定形
- particle acceleration
- 粒子加速
- breakdown
- oxide semiconductor
- 酸化物半導体
- silicon (Si)
- ケイ素
- BaTiO3
- Mars
- 火星
- hydrogen evolution
- 水素放出
- visible light
- 可視光
- water oxidation
- anodization
- 陽極酸化
- erosion
- 侵食
- coercivity
- 保磁性
- near-infrared
- 近赤外
- fluorescence
- 蛍光
- GaN
- annealing
- アニーリング
- resistivity
- 抵抗力
- phosphor
- リン光体
- passivation
- ITO
- electron microscopy
- 電子顕微鏡
- electrochemical properties
- 電気化学的性質
- electrochemical measurement
- 電気化学測定
- circulating tumor cells
- 末梢循環腫瘍細胞
- diamond
- ダイアモンド
- hydrogen
- 水素
- field effect transistors (FET)
- 電界効果トランジスタ
- luminescence
- 発光
- absorption spectroscopy
- 吸収分光法
- magnetic properties
- 磁性
- X-ray absorption fine structure
- X線吸収
- ferromagnetism
- 強磁性
- spectroscopy
- 分光法
- biocompatibility
- 生体適合性
- stability
- 安定性
- GaSb
- semiconductor
- 半導体
- germanium
- ゲルマニウム
- hydroxyapatite
- ヒドロキシアパタイト
- hardness
- 硬度
- cytotoxicity
- 細胞傷害性
- magnetostriction
- 磁歪
- titanium dioxide (TiO2)
- 二酸化チタン
- structure
- 構造
- mechanical properties
- 機械的特性
- heat flux
- 熱流
- ion exchange
- イオン交換
- thermal conductivity
- 熱伝導度
- ceramics
- セラミックス
- piezoelectric materials
- 圧電性
- energy harvesting
- indium tin oxide
- 酸化インジウム錫
- metal oxide
- 金属酸化物
- VO2
- 酸素消費量
- ellipsometry
- 偏光解析法
- Raman
- SAW
- ScAlN
- migration
- 遊走
- thiol
- チオール
- viscosity
- 粘性
- particle size
- charge transfer
- 電荷移動
- deposition
- 析出
- diffraction
- 回折
- scanning transmission electron microscopy (STEM)
- 走査透過型電子顕微鏡
- X-ray scattering
- X線散乱
- light scattering
- 光散乱
- thin-film solar cell
- 薄膜太陽電池
- surface texture
- 表面組織
- crystal growth
- 結晶成長
- catalyst
- 触媒
- MEMS
- piezoelectricity
- 圧電気
- microstructure
- 微細構造
- electrical property
- 電気的性質
- self-organization
- 自己形成
- Au nanoparticles
- Auナノ粒子
- Ga2O3
- crystallization
- 結晶化
- computer simulation
- コンピュータシミュレーション
- secondary ion mass spectrometry (SIMS)
- 二次イオン質量分析法
- actuator
- アクチュエータ
- carbon nitride
- 窒化炭素
- thermal stress
- 熱応力
- surface treatment
- 表面処理
- Langmuir probe
- ラングミュアプローブ
- Raman scattering
- ラマン散乱
- copper(I) oxide (Cu2O)
- 酸化銅(I)
- corrosion
- 腐食
- magnesium alloys
- マグネシウム合金
- aluminum (Al)
- アルミニウム
- metal ion
- 金属イオン
