論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
4H-SiCに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
4H-SiCに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- 4H-SiC
- epitaxial growth
- エピタキシャル成長
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- dislocation
- 転位
- stacking fault
- 積層欠陥
- first principles calculation
- 第一原理計算
- doping
- ドーピング
- silicon carbide (SiC)
- 炭化ケイ素
- photoelectrochemistry
- 光電気化学
- nanoparticles
- ナノ粒子
- aluminum (Al)
- アルミニウム
- focused ion beam
- 集束イオンビーム
- attenuated total reflection
- ATR
- Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR)
- フーリエ変換赤外分光法
- gamma ray
- γ線
- X-ray topography
- X線トポグラフィー
- transmission electron microscopy (TEM)
- 透過型電子顕微鏡
- excimer laser
- エキシマレーザー
- oxidation
- 酸化
- diffusion
- 拡散
- interstitials
- 間質性
- silicon nitride
- 窒化ケイ素
- nitrogen
- 窒素
- germanium
- ゲルマニウム
