論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
ellipsometryに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
ellipsometryに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- ellipsometry
- 偏光解析法
- spectroscopic ellipsometry
- 分光エリプソメトリー
- silicon crystal
- シリコン結晶
- optical interferometry
- 光干渉法
- Planck constant
- プランク定数
- kilogram
- キログラム
- extinction coefficient
- 消衰係数
- chemical composition
- 化学組成
- thin films
- 薄膜
- surface roughness
- 表面粗さ
- density functional theory (DFT)
- 密度汎関数理論
- Avogadro constant
- アボガドロ定数
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- optical activity
- 光学活性
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
- coherence
- polarimetry
- 旋光分析
- surface reconstruction
- 表面再構成
- surface
- 表面
- metal-organic vapor phase epitaxy (MOVPE)
- MOVPE法
- AlN
- mobility
- epitaxial growth
- エピタキシャル成長
- Raman
- sputtering
- スパッタリング
- simulation
- シミュレーション
- photonic crystals
- フォトニック結晶
- plasma
- 血漿
- in situ measurement
- nuclear fusion
- 核融合
- Raman spectroscopy
- ラマン分光法
- sensing
- センシング
- nanofabrication
- ナノ加工
- optical trapping
- 光学トラップ法
- finite difference time domain (FDTD) method
- 時間領域差分法
- nanoparticles
- ナノ粒子