論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
direct bondingに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
direct bondingに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- direct bonding
- ダイレクトボンディング
- epitaxial growth
- エピタキシャル成長
- silicon photonics
- heterogeneous integration
- vacuum ultraviolet (VUV)
- 真空紫外線
- low temperature bonding
- self-assembled monolayer (SAM)
- 自己組織化膜
- CMP
- 3D integration
- 三次元集積化
- low temperature
- 低温
- metal-organic vapor phase epitaxy (MOVPE)
- MOVPE法
- laser diode
- ダイオードレーザー
- silicon (Si)
- ケイ素
- InP
- インジウムリン
- semiconductor laser
- 半導体レーザー
