論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
MEMSに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
MEMSに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- MEMS
- microrobot
- マイクロロボット
- MEMS-CMOS integration
- artificial neural networks
- 人工ニューラルネットワーク
- SMA
- tactile sensor
- 触覚センサ
- electron beam lithography
- 電子ビームリソグラフィ
- actuator
- アクチュエータ
- piezoelectricity
- 圧電気
- cantilever
- カンチレバー
- single crystal silicon
- 単結晶シリコン
- accelerometer
- 加速度計
- lead zirconate titanate (PZT)
- チタン酸ジルコン酸鉛
- silicon carbide (SiC)
- 炭化ケイ素
- diaphragm
- 横隔膜
- shape-memory alloy
- 形状記憶合金
- sensor
- センサー
- millimeter wave
- ミリ波
- vibration
- 振動
- EB lithography
- EUV lithography
- hydrogen sensor
- strain
- 系統
- integrated optics
- 光集積回路
- fracture
- 骨折
- infrared
- 赤外
- CMOS
- nanowire
- ナノワイヤー
- tensile test
- 引張試験
- aerosol deposition
- エアロゾル沈着
- ferroelectrics
- 強誘電性
- transducer
- トランスデューサー
- consolidation
- high-resolution
- 高分解能
- anodic bonding
- 陽極ボンディング
- surface plasmon
- 表面プラズモン
- microfabrication
- 微細加工
- electromagnetic coupling
- 電磁結合
- wireless sensor
- 無線センサ
- induced pluripotent stem (iPS) cells
- 人工多能性幹細胞
- cardiomyocyte
- 心筋細胞
- natural frequency
- 自然周波数
- bifurcation
- 分岐
- SMES
- trench
- ultrasonic vibration
- 超音波振動
- pressure sensor
- プレッシャセンサー
- shear stress
- せん断応力
- clustering
- クラスタリング
- design
- デザイン
- imprint
- 刷り込み
- rectifier
- 整流器
- dielectrophoresis
- 誘電泳動
- spatial light modulator
- 光空間変調器
- holography
- ホログラフィ
- microfluidics
- マイクロ流体
- woody biomass
- 木質バイオマス
- feedback control
- フィードバック調節
- capacitance
- 静電容量
- metallic glass
- ガラス状合金
- optical sensor
- 光センサー
- blood flow
- 血流
- haptics
- 触覚
- polymer
- ポリマー
- LSI
- micromachining
- 微細加工
- integrated photonics
- fatigue
- 疲労
- resonator
- 共鳴器
- lifetime
- 寿命
- reliability
- 信頼性
- melting
- 融解
- differential scanning calorimetry (DSC)
- 示差走査熱量測定
- thin films
- 薄膜
- sputtering
- スパッタリング
- electret
- エレクトレット
- Internet of Things (IoT)
- nonlinearity
- 非線形
- in situ observation
- transmission electron microscopy (TEM)
- 透過型電子顕微鏡
- terahertz wave
- テラヘルツ波
- water (H2O)
- 水
- mechanism
- optics
- 光学
- X-ray
- X線
- size effect
- サイズ効果
- plastic deformation
- 塑性変形
- temperature
- 温度
- renewable energy
- 再生可能エネルギー
- energy harvesting
- dragonfly
- トンボ
- mechanical properties
- 機械的特性
- optogenetics
- オプトジェネティクス
- waveguide
- 導波管
- field emission
- 電界放射
- plasmon
- プラズモン
- packaging
- パッケージング
- soft X-ray
- 軟X線
- surface acoustic wave
- 表面音波
- sapphire
- サファイア
- probabilistic model
- 確率モデル
- platinum catalyst
- 白金触媒
- electroplating
- 電気メッキ
- gas sensor
- ガスセンサー
- hydrogen
- 水素
- scintillator
- シンチレーター
- vacuum evaporation
- 真空蒸発
- spatial frequency
- 空間周波数
- measurement
- 測定
- ferrite
- フェライト
- biomass
- バイオマス
- cellulose
- セルロース
- neural network
- 神経網
- silicon (Si)
- ケイ素
- high temperature
- 高温
- reconfigurable optical add/drop multiplexer (ROADM)
- gesture recognition
- ジェスチャー認識
- gold
- 金
- fractal
- フラクタル
