Home » 論文ナビSCOPE » キーワード分析 » 【論文データ】FinFETの国内研究動向まとめ 【論文データ】FinFETの国内研究動向まとめ 論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。 代表的な研究機関 FinFETに関する論文を発表している代表的な機関のリストです 株式会社日立ハイテクノロジーズ 東京大学 産業技術総合研究所（AIST） 九州大学 日立製作所 東京工業大学 頻出キーワード FinFETに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました FinFET variability 可変性 ion implantation イオン打ち込み metrology 測定学 LWR FIB transmission electron microscopy (TEM) 透過型電子顕微鏡 CD-SEM interface states 界面状態 nanofabrication ナノ加工 分野シェア FinFETに関する論文が発表されている分野内訳 工学 総合理工 数物系科学 詳細分野シェア FinFETに関する論文が発表されている詳細分野内訳 工学 光学 物理 関連論文 国内から発表されているFinFETに関する文献をランダムに選んで表示しています Impact of residual defects caused by extension ion implantation in FinFETs on parasitic resistance and its fluctuation. Solid-State Electron. (2017)産業技術総合研究所（AIST） Ultra-High Aspect Ratio InP Junctionless FinFETs by a Novel Wet Etching Method. IEEE Electron Device Lett. (2016)九州大学 統計データ
