Home » 論文ナビSCOPE » キーワード分析 » 【論文データ】GCIBの国内研究動向まとめ 【論文データ】GCIBの国内研究動向まとめ 論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。 代表的な研究機関 GCIBに関する論文を発表している代表的な機関のリストです 兵庫県立大学 京都大学 SENTAN（科学技術振興機構：JST） 頻出キーワード GCIBに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました GCIB acetic acid 酢酸 copper (Cu) 銅 STT-MRAM secondary ion mass spectrometry (SIMS) 二次イオン質量分析法 CNT wafer bonding ウェーハ貼り合わせ cell adhesion 細胞接着 分野シェア GCIBに関する論文が発表されている分野内訳 数物系科学 工学 総合理工 化学 詳細分野シェア GCIBに関する論文が発表されている詳細分野内訳 物理 工学 材料科学 化学 計測工学 原子力工学 関連論文 国内から発表されているGCIBに関する文献をランダムに選んで表示しています Atomic layer etching of Cu film using gas cluster ion beam. J. Phys. D-Appl. Phys. (2017)兵庫県立大学 Incident angle dependence of metal etching using a gas cluster ion beam in acetic acid atmosphere. Surf. Coat. Technol. (2016)兵庫県立大学 Isolated crater formation by gas cluster ion impact and their use as templates for carbon nanotube growth. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B-Beam Interact. Mater. Atoms (2016)兵庫県立大学 Development of Low-vacuum SIMS instruments with large cluster Ion beam. Surf. Interface Anal. (2016)京都大学SENTAN（科学技術振興機構：JST） 統計データ
