論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
overlayに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
overlayに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- overlay
- throughput
- 処理量
- nanoimprint lithography
- ナノインプリント技術
- detectivity
- 検出能
- J-FIL
- particle
- 粒子
- displacement
- defects
- 欠損
- CDU
- process control
- プロセス制御
- alignment
- 整列化
- device-to-device communication
- downlink
- ダウンリンク
- 5G
- stochastic geometry
- 確率幾何学
- photoresist
- 光レジスト
- 3DCG
- 3次元グラフィックス
- surgery
- 手術
- printed electronics
- topography
- lithography
- リソグラフィー
- tribology
- 摩擦学
- solid lubricant
- 固体潤滑剤
- composite
- NIL
- optics
- 光学
- accuracy
- 精度
- CD-SEM
