論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
EUV resistに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
EUV resistに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- EUV resist
- ZrO2
- mass spectrometry
- 質量分析
- ab initio
- infrared spectroscopy (IR)
- 赤外分光法
- electron beam irradiation
- 電子線照射
- EUV mask
- EUV lithography
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- scanning transmission electron microscopy (STEM)
- 走査透過型電子顕微鏡
- electron energy-loss spectroscopy (EELS)
- 電子エネルギー損失分光法
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
