論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
metrologyに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
metrologyに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- metrology
- 測定学
- CD-SEM
- interferometry
- インターフェロメトリー
- manufacturing
- 製造
- electromagnetic fields
- 電磁場
- measurement standards
- 計測標準
- template
- 鋳型
- nanoimprint
- inspection
- 点検
- NIL
- FinFET
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- uncertainty
- 不確実性
- measurement
- 測定
- precision
- 精度
- extreme ultraviolet
- 極紫外
- shrinkage
- 縮ミ
- resist
- phase measurement
- 位相測定
- machine tool
- 工作機械
- probe
- プローブ
- superconducting integrated circuit
- 超伝導集積回路
- Josephson junction
- ジョセフソン接合
- FIB
- 3D
- 三次元
- cross-section
- 横断面
- distribution
- 分布
- nondestructive testing
- 非破壊試験
- spectrograph
- 分光器
