論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
magnetron sputteringに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
magnetron sputteringに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- magnetron sputtering
- マグネトロンスパッタリング
- RF magnetron sputtering
- RF磁電管スパッタリング
- ZnO
- 酸化亜鉛
- vanadium
- バナジウム
- Ga-doped ZnO
- thin films
- 薄膜
- DC magnetron sputtering
- 直流マグネトロンスパッタ
- carrier transport
- 担体輸送
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
- transparent conductive oxide
- 透明導電性酸化物
- Al-doped ZnO
- alドープZnO
- perovskite solar cells
- defects
- 欠損
- Schottky barrier
- ショットキー障壁
- crystallographic orientation
- 結晶方位
- buffer layer
- 緩衝層
- silicon (Si)
- ケイ素
- doping
- ドーピング
- BaTiO3
- hydrogen evolution
- 水素放出
- visible light
- 可視光
- water oxidation
- anodization
- 陽極酸化
- resistivity
- 抵抗力
- phosphor
- リン光体
- ferromagnetism
- 強磁性
- germanium
- ゲルマニウム
- structure
- 構造
- mechanical properties
- 機械的特性
- heat flux
- 熱流
- nitrogen
- 窒素
- SAW
- ScAlN
- charge transfer
- 電荷移動
- light scattering
- 光散乱
- thin-film solar cell
- 薄膜太陽電池
- surface texture
- 表面組織
- microstructure
- 微細構造
- plasma
- 血漿
- electrical property
- 電気的性質
- self-organization
- 自己形成
- Au nanoparticles
- Auナノ粒子
- copper(I) oxide (Cu2O)
- 酸化銅(I)
- alumina (Al2O3)
- アルミナ
- pH sensor
- pHセンサ