論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
photoresistに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
photoresistに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- photoresist
- 光レジスト
- etching
- エッチング
- SOC
- EUV
- DNA damage response
- DNA損傷応答
- EUVL
- CAR
- overlay
- detectivity
- 検出能
- J-FIL
- throughput
- 処理量
- particle
- 粒子
- atomic force microscopy (AFM)
- 原子間力顕微鏡
- surface roughness
- 表面粗さ
- electron beam lithography
- 電子ビームリソグラフィ
- photolithography
- 写真平版
- LWR
- dielectric constant
- 比誘電率
- refractive index
- 屈折率
- contact angle
- 接触角
- oxygen
- 酸素
- microbubble
- 微小気泡
- nonlinear optics
- 非線形光学
- environment
- 環境
- roughness
- 粗さ
- CD uniformity
- resolution
- 解決
