論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)に関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)に関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
- プラズマCVD
- Schottky diodes
- ショットキーダイオード
- thermocouple
- 熱電対
- temperature measurement
- 測温
- solar cells
- 太陽電池
- cluster
- クラスター
- hysteresis
- ヒステリシス
- graphite
- グラファイト
- nanostructures
- ナノ構造
- superoxide dismutase
- スーパーオキシドジスムターゼ
- antioxidant
- 抗酸化剤
- osteogenesis
- 骨形成
- hardness
- 硬度
- thin films
- 薄膜
- diamond
- ダイアモンド
- morphology
- 形態学
- laser spectroscopy
- レーザー分光
- boundary lubrication
- 境界潤滑
- DLC