論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
EUVに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
EUVに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- EUV lithography
- EUV
- EUV resist
- EUV mask
- photoresist
- 光レジスト
- susceptibility
- 感受性
- chemically amplified resist
- 化学増幅レジスト
- SOC
- etching
- エッチング
- DNA damage response
- DNA損傷応答
- EB lithography
- CAR
- ZrO2
- mass spectrometry
- 質量分析
- MEMS
- resolution
- 解決
- nonlinear optics
- 非線形光学
- UV
- 紫外
- ab initio
- infrared spectroscopy (IR)
- 赤外分光法
- electron beam irradiation
- 電子線照射
- spectrum
- スペクトル
- woody biomass
- 木質バイオマス
- EUVL
- X-ray absorption fine structure (XAFS)
- X線吸収微細構造
- CCD
- adaptive optics
- 補償光学
- polymethyl methacrylate
- ポリメチルメタクリレート
- swelling
- 膨化
- LER
- LWR
- ArF
- 急性腎不全
- metal complex
- 金属錯体
- resist
- contamination
- 混入
- biomass
- バイオマス
- cellulose
- セルロース
- X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
- X線光電子分光法
- scanning transmission electron microscopy (STEM)
- 走査透過型電子顕微鏡
- electron energy-loss spectroscopy (EELS)
- 電子エネルギー損失分光法
- X-ray diffraction (XRD)
- X線回折
- Monte Carlo simulation
- モンテカルロシミュレーション
