論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
代表的な研究機関
heterogeneous integrationに関する論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
heterogeneous integrationに関する論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- heterogeneous integration
- direct bonding
- ダイレクトボンディング
- surface-activated bonding
- 3D integration
- 三次元集積化
- self-assembly
- 自己組織化
- Si photonics
- CMP
- atmospheric pressure plasma
- 大気圧プラズマ
- contact angle
- 接触角
- hydrophobicity
- 疎水性
- wettability
- 水和性
- surface tension
- 表面張力
- membrane laser
- silicon on insulator (SOI)
- modulator
- 修飾因子
- silicon photonics
- photodetector
- 光検出素子
