論文ナビは研究者によって運営される論文解説プラットフォームです。このページでは、最近二年間(2016-2017)で発表された文献データを独自に収集・集計して分かりやすくまとめました。論文キーワードマップ、代表的な研究機関、頻出キーワード、分野のシェア、分野関連図、関連文献等により、今までない情報を提供します。
この記事の見出し
代表的な共同研究機関
株式会社日立ハイテクノロジーズと共同で総合理工分野の論文を発表している代表的な機関のリストです
頻出キーワード
株式会社日立ハイテクノロジーズから発表された総合理工分野の論文で良く出現する論文キーワードを集計しました
- CD-SEM
- metrology
- 測定学
- transmission electron microscopy (TEM)
- 透過型電子顕微鏡
- FinFET
- scanning electron microscopy (SEM)
- 走査型電子顕微鏡
- FIB
- polymer electrolyte fuel cell
- 高分子電解質型燃料電池
- in situ TEM
- microstructure
- 微細構造
- buffer layer
- 緩衝層
- variability
- 可変性
- correlation analysis
- 相関解析
- STT-MRAM
- LWR
- Monte Carlo
- モンテカルロ
- precision
- 精度
- extreme ultraviolet
- 極紫外
- shrinkage
- 縮ミ
- resist
- diatom
- 珪藻
- image processing
- 画像処理
- biosensor
- バイオセンサー
- BCP
- DSA
- LER
- 3D
- 三次元
- cross-section
- 横断面
- distribution
- 分布
- defect detection
- 欠陥検出
- detectivity
- 検出能
- optics
- 光学
- accuracy
- 精度
- overlay
